日前，我國集成電路生產領域已經基本實現了核心裝備國產化。背景經濟開發區集成電路廠商中芯國際目前已經運用過國產設備進行晶圓加工，并突破一千萬片次。這意味著我國自主研發的設備在集成電路生產中得到了驗證，國產設備的市場競爭力與技術實力將會進一步得到認可，我國電子專用設備產業的整體實力也有望得到大幅提升。
以中芯國際的集成電路生產線為例，其工藝制造需要較高的精度與復雜程度，尤其是芯片生產方面，需要電子、機械、軟件、材料與控制等多個學科的相互配合，因此具有較高的技術含量。而相關的技術，尤其是離子注入、光刻、薄膜、氧化機等設備，其關鍵技術都掌握在歐美等少數公司手中。但是如今，經過幾年的發展，一些國產的電子專用設備正逐漸向我國集成電路生產領域覆蓋。
可以說，我國電子信息產業發展的基礎是各類電子專用設備。在全球制造業向我國轉移的過程中，電子信息產業目前已經得到了較為長足的進步。并且，電子專用設備也相應得保持了較高的增長速度。
盡管當下產業在我國已經取得了較大的發展成績，但是總體來看，目前產業規模依舊較小，自主創新的能力有待提高，在高端設備開發方面相對來說還是較為落后。另外，由于我國本土電子專用設備企業的實力不強，造成一些產品雖然具有較高性價比，但是由于可靠性差，導致市場占有率較低。
再者，電子專用設備生產環節來說，由于產品與后續的制造工藝緊密相關，因此其裝備制造水平也嚴重影響了下游產品的質量。但是當下由于我國電子專用設備開發并沒有與下游電子產品的制造環節形成聯動，間接地也影響了技術成果的轉化。
總體來看，我國電子專用設備產業的發展水平仍舊較為落后，與發達國家相比存在一定的差距，而且，不少關鍵設備仍舊需要進口。
因此，面對這種狀況，工信部也專門引發了《電子專用設備產業規劃》，對產業發展提出了集中力量土坯、開發具有市場競爭力、滿足國家重大戰略需求的關鍵產品，并推動產品進入生產線，提升市場自給率的措施。
鐘小姐
